品管設備

♦ High quality control – Auto measurement tools with COA:

• 功能: 晶片厚度/TTV/ WARPAGE/ BOW量測

♦ 單晶晶片定向儀
(Crystal Orientation Measurement Instrument)

• 功能: 雙工作臺儀器，可以對晶片端面及參考邊進行量測。經度為±30"，最小讀數為1"
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